在半导体应用中,您的压力仪表需要经得起各种条件的考验,并满足高纯度标准和法规。阿什克罗夫特的含氟聚合物生产线压力传感器为您的半导体应用提供可靠的压力测量。
您如何知道这些传感器中哪一个适合您的应用?
本博客将比较Ashcroft的ZL91, ZL92和ZL95压力传感器,并讨论它们的功能和优点,以帮助您找到满足您需求的最佳解决方案。
ZL91和ZL92换能器是专门为需要所有氟树脂湿部件和在过程中需要低金属离子的应用而设计的。
的Ashcroft ZL91压力传感器是专为超纯水和去离子水应用。它由含氟聚合物(聚四氟乙烯/PFA)湿部件构成,可最大限度地减少金属离子的洗脱。其紧凑的设计有助于减少污染和保持您的工艺流体的纯度。
的Ashcroft ZL92压力传感器设计用于需要PTFE/PFA湿部件的半导体工艺,以改善与腐蚀性气体和流体的化学相容性,包括氢氟酸或其他腐蚀性酸。二级隔离隔膜和排气设计将陶瓷传感元件与腐蚀性气体和液体隔离开来,从而延长了传感器的使用寿命。
阿什克罗夫特的ZL95含氟聚合物压力传感器提供一个4位的LED显示屏,是专门为在腐蚀性环境中使用。PTFE/PFA润湿部件提供延长的循环寿命和耐腐蚀性。
ZL95本质上是带显示屏的ZL92,具有易于阅读的LED显示屏以及NPN开关输出。此外,ZL95包括一个按钮零作为一个标准功能。
这些传感器之间的相似之处包括用于半导体应用的含氟聚合物(PTFE/PFA)湿材料和100,000级洁净室包装和装袋。每个ZL型号都采用电容传感器,具有优异的热稳定性。此外,所有单位提供多种安装选项,包括管连接,压配合螺母,喇叭螺母和螺纹螺母。
与ZL91不同,ZL92和ZL95都采用特殊的排气设计,将传感元件与腐蚀性液体和气体隔离,以增加换能器的使用寿命。ZL91和ZL92提供4-20 mA或1-5 Vdc输出信号,而ZL95提供许多模拟输出选项,包括4-20 mA, 0-5 Vdc, 0-10 Vdc和1-5 Vdc。三种换能器之间的另一个主要区别是ZL95提供LED显示屏。
现在您知道了Ashcroft的ZL91, ZL92和ZL95压力传感器之间的差异和相似之处,您可以研究最适合您应用的解决方案。记住所有这些因素可以帮助您避免问题,并通过可靠和准确的压力测量保持流程运行。
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