半导体
用于半导体制造商的压力仪器
全球半导体产业近年来的重大增长预计将继续到2021年及以后。主要贡献因素包括电气和电子设备中的微电子,人工智能,物联网和行业扩建的增加的增加。由于这些变化发生,半导体供应商面临改善供应以满足需求的挑战 - 即,晶体管密度,提高可靠性,以及降低生产和购买成本。
Ashcroft准备好并愿意帮助半导体制造商接受并克服这一挑战。配备广泛的行业特定的经验,我们拥有帮助开发,工程师,制造和测试高质量半导体生产所需的仪器和设备的知识和技能。
我们提供各种压力测量产品 - 包括与我们的发射器专有的超稳定CVD传感技术-适用于半导体制造应用。我们的产品性能与全球安全认证和最关键的半导体应用性能的遗产相结合。
在半导体工具中,气体面板控制进入工艺室的气体流量。压力传感器安装在每个气棒上的气体面板内,以监测压力调节器的压力输出。该位置使其能够以更高的精度、精度和速度发送调整系统运行的信号,从而使系统整体功能更好。
一些用于半导体应用的气体是有毒的、易燃的,对那些处理它们的人来说是危险的。这些危险需要对许多产品进行ATEC和IECEx危险地点批准。Ashcroft和日本长野Keiki有限公司(我们的母公司)每年生产超过100,000个压力变送器和压力表,设计和设计用于半导体工业应用的安全使用。
氢是超高压输送中最常用的载气之一。安全处理氢气要求实施保护措施,以减少火灾或爆炸的风险。首选的方法包括ATEX/IECEx内在安全性和无火花认证。要记住的一个关键因素是氢脆的影响。压力变送器和压力表的稳定性和重复性依赖于其测量机制(直接与冶金和抗脆化有关)。阿什克罗夫特高纯度变送器和压力表采用高纯度奥氏体316L不锈钢,已证明可以减轻氢脆的影响。
防止污染物渗透洁净室和其他清洁空间所需的压力量是高度特异性的。压力太少导致不需要的颗粒进入该区域,而压力太大导致过度的空气运动和浪费的能量。集成到空气处理设备中的压力传感器和仪表必须非常灵敏,准确,可靠。
半导体制造中压力测量的重要性
如今,半导体制造业务依赖于超高纯度(UHP)气体的精确交付,这要求纯度水平超过99.9995%,并对杂散颗粒和湿度进行严格控制。考虑到超高压气体供应系统的重要性,用于其分布的测量和控制技术必须提供高精度、高精度的性能,同时保持系统内部的绝对洁净度。建筑材料在与超高压气体接触时必须保持惰性,尽量减少被困(死)体积的风险,并防止颗粒脱落和被困。
虽然超高压气体对现代半导体的制造至关重要,但其毒性和可燃性对处理这些气体的人的健康和福祉构成重大风险。因此,半导体操作中使用的一些设备需要符合泄漏完整性和危险位置规范和标准(如ATEX和IECEx),以确保用户安全。
Ashcroft半导体制造的压力仪器
用于洁净室和洁净空间的低差压变送器
我们的许多差压传感器-包括DXLdp, CXLdp, AXLdp和GC30 -集成与Si-GlasⓇ技术,这有助于它们适应超低差压应用的高度关键监测和控制需求。H2O(12.5 PA)中的压力范围低至0.05,允许在令人难以置信的低压力下最紧固的控制。
我们的1130系列仪表旨在结合到手套箱,晶圆处理设备和具有低至0.6的叠层框架,在H2O(150Pa)中的差压范围为0.6。
为什么要和阿什克罗夫特合作?
与我们合作满足半导体需求的客户将从我们的:
我们以无与伦比的产品性能、广泛的能力和您可以信赖的经验,解决半导体市场的关键需求。我们了解这个行业,因为我们是这个行业的一部分。我们在日本的传感器制造设施包括制造工艺(例如,光刻,蚀刻和薄膜沉积),并拥有10级和100级制造和封装领域。
理解需要最高纯度和清洁度的应用程序是不可选择的,这是我们DNA的一部分。我们在传感器技术方面的丰富经验使我们的产品表现如此出色。我们的设计总是灵活的,因为我们知道,只有我们适合,我们才是解决方案。我们已经在广泛的生产能力上进行了投资,以快速提高最激进的时间表和生产预测。
常见问题解答
HPX压力表是否有其他尺度和拨号选项?
是的,其他压力单元,范围或定制拨盘可以根据要求容纳,但可能受到最小值。
ZT / ZX压力变送器上是否有其他压力连接?
其他压力配件(如焊接/管短或VCO)可以根据要求提供,但可能受到最小数量的限制。
阿什克罗夫特高纯度产品是如何包装的?
所有的ZT/ZX和HPX高纯度仪器都封装在两个塑料(PE)袋氮气净化。
相信阿什克罗夫特专家
在阿什克罗夫特,我们在这里帮助您确定适合您的半导体需求的压力仪器。无论您需要用于标准或洁净室制造环境的仪表、传感器或变送器,我们都会找到完美的产品解决方案。相信我们与您的项目的成功和安全。